[发明专利]具有非常低的光学串扰以及改进的读出的硅光电倍增器

摘要

基于硅的光电倍增器器件包括基板(1)、第一导电类型的第一层(2)、以及在第一层上形成的第二导电类型的第二层(3)，其中，第一层(2)和第二层(3)形成p‑n结，其中，第一层(2)和第二层(3)被设置在基板(1)上或者基板(1)的上面。在基板(1)和第一层(2)之间的材料层(15)实现光吸收体的功能，因此高效地抑制器件的相邻单元之间的串扰。材料层(15)还可以用作用于从器件读出电信号的电极。

主权项

一种基于硅的光电倍增器器件，该光电倍增器器件包括：多个光敏单元；基板(1)；以及第一导电类型的第一层(2)；所述多个光敏单元中的每一个包括形成在所述第一层(2)的远离所述基板(1)的主上表面上的第二导电类型的第二层(3)；其中，所述第一层(2)和所述第二层(3)形成p‑n结；其中，所述第一层(2)和所述第二层(3)被设置在所述基板(1)的上方，所述光电倍增器器件还包括：材料层(15)，所述材料层(15)设置在所述基板(1)的主上表面和所述第一层(2)的主下表面之间，所述材料层(15)由与所述基板(1)的材料不同的材料制成，其特征在于，所述材料层(15)的材料包括金属、金属化合物或金属合金中的一个或更多个。