[发明专利]源收集器设备、光刻设备和方法有效
| 申请号： | 201480019323.3 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN105074577B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | N·克里曼斯;D·格卢什科夫;R·豪特曼;B·伦肯斯;G·斯温克尔斯;C·沃斯比克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用在光刻设备中的源收集器设备，所述源收集器设备包括：燃料液滴生成器(4)，配置成在使用中生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位(7)引导的燃料液滴流(6)。为了防止液滴伴生对等离子体形成的干扰，气体供给装置被提供以在使用中提供气体流(A)，例如氢气流，该气体流将任何伴生液滴偏转出所述燃料液滴流。另外，检测设备可以设置为护罩(5)的一部分，以确定燃料液滴融合所出现的点，由此提供对于在燃料液滴流中存在伴生液滴的可能性的指示。 1 | ||
| 搜索关键词： | 燃料液滴 源收集器 等离子体形成 伴生液滴 光刻设备 气体流 生成器 偏转 气体供给装置 检测设备 防止液 氢气流 引导的 伴生 护罩 融合 配置 出口 | ||
【主权项】：
1.一种源收集器设备，包括：燃料液滴生成器，配置成生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位引导的燃料液滴流；以及气体供给装置，配置成提供朝向所述燃料液滴流引导的气体流，借助于该气体流，在所述等离子形成部位之前伴生液滴被偏转出所述燃料液滴流，使得它们不干扰等离子体形成和EUV形成。
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