[发明专利]源收集器设备、光刻设备和方法

权利要求书

1.一种源收集器设备，包括：燃料液滴生成器，配置成生成从所述燃料液滴生成器的出口朝向等离子体形成部位引导的燃料液滴流；以及气体供给装置，配置成提供朝向所述燃料液滴流引导的气体流，借助于该气体流，在所述等离子形成部位之前伴生液滴被偏转出所述燃料液滴流，使得它们不干扰等离子体形成和EUV形成。

2.根据权利要求1所述的源收集器设备，还包括护罩，所述护罩基本上平行于所述燃料液滴流延伸，且其中所述气体流从设置在所述护罩中或所述护罩附近的出口延伸。

3.根据权利要求1所述的源收集器设备，其中所述气体流由多个独立气体流形成。

4.根据权利要求2所述的源收集器设备，其中所述气体流由多个独立气体流形成。

5.根据权利要求1所述的源收集器设备，其中所述气体流位于一平面中，且其中所述燃料液滴流基本上垂直于所述平面。

6.根据权利要求1所述的源收集器设备，其中所述气体流被配置成使得在使用中，任何伴生液滴被偏转成使得在使用中它们不穿过用于从燃料液滴生成等离子体的激光束。

7.根据前述权利要求中任一项所述的源收集器设备，还包括检测设备，所述检测设备被构造和布置用于检测燃料液滴在燃料液滴流中的融合。

8.一种光刻设备，包括根据前述权利要求中任一项所述的源收集器设备。

9.一种从源收集器设备的燃料液滴流中去除伴生液滴的方法，所述燃料液滴流沿着第一方向延伸，所述方法包括：将气体流朝向所述燃料液滴流引导以将在第二方向上相对于燃料液滴的差异速度赋予所述伴生液滴，借助于该气体流，在等离子体形成部位之前伴生液滴被偏转出所述燃料液滴流，使得它们不干扰等离子体形成和EUV形成。