[发明专利]具有旋转性增强的MEMS铰链有效
| 申请号： | 201480015234.1 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105103031B | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 拉维夫·埃尔里奇;尤瓦尔·格尔森 | 申请（专利权）人： | 拉维夫·埃尔里奇;尤瓦尔·格尔森 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械设备(20、50、70、80、120)，其包括由刚性的弹性材料制成的窄长元件(26、54、66、90、122)。刚性框架(28、52、64、92)被配置为锚定所述元件的与框架附接的至少一个端部，并被配置为限定在梁和所述框架之间沿所述元件纵向延伸的间隙，使得所述元件在间隙内自由地移动。不同于刚性的弹性材料的固体填充材料(30、56、68、94、102、124)填充所述元件和所述框架之间的间隙的至少一部分，以允许元件在间隙内的第一运动模式，而抑制不同的第二运动模式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 旋转 增强 mems 铰链 | ||
【主权项】：
一种机械设备，包括：由给定长度与横向尺寸的刚性的弹性材料制成的窄长元件；刚性框架，所述刚性框架被配置为锚定所述元件的与所述框架附接的至少一个端部，并被配置为限定在所述元件和所述框架之间沿所述元件纵向延伸的间隙，使得所述元件被构造为铰链以便相对于所述框架围绕所述元件的纵向轴线旋转并且在所述间隙内自由地移动，初始扭转弹簧常数Kφ由所述元件的长度和横向尺寸确定；和比所述刚性的弹性材料柔软的固体填充材料，所述固体填充材料填充位于所述元件和所述框架之间的所述间隙的至少一部分，以便允许所述元件围绕所述纵向轴线在所述间隙内的旋转运动模式，而抑制所述元件的横向变形，其中所述固体填充材料被应用以使扭转弹簧常数相对于所述初始扭转弹簧常数Kφ增大不超过20％。
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