[发明专利]具有表面官能化金属纳米线的透明导电电极、它们的结构设计及制造方法有效
| 申请号: | 201480001119.9 | 申请日: | 2014-04-03 |
| 公开(公告)号: | CN104285260B | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
| 发明(设计)人: | 潘克菲 | 申请(专利权)人: | 苏州诺菲纳米科技有限公司 |
| 主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01L31/0224;H01L29/43 |
| 代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 杨林洁 |
| 地址: | 215028 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明揭示了一种透明导电电极的制作方法,所述方法包括提供一个基板;形成一个薄膜,所述薄膜包括具有金属纳米线的第一区域,其中至少一些金属纳米线被表面官能化且抗氧化或抗酸反应;蒸发去除金属纳米线膜中的溶剂;将所述纳米线膜暴露于化学试剂;形成具有纳米线的第二区域;以及对包含所述第一区域和所述第二区域的薄膜进行热处理;其中所述第一区域与所述第二区域之间的电阻率差超过1000。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 表面 官能 金属 纳米 透明 导电 电极 它们 结构设计 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种图案化导电电极的方法,其包括如下步骤:提供一个基板;形成一个薄膜,所述薄膜包括金属纳米线,其中至少一些金属纳米线被表面官能化且抗氧化或抗酸反应,另一部分金属纳米线为非表面官能化的金属纳米线;蒸发去除金属纳米线薄膜中的溶剂;将所述纳米线薄膜暴露于化学试剂,化学试剂为氧化剂或酸性试剂;具有表面官能化的金属纳米线的薄膜与化学试剂不反应成为第一区域,具有非表面官能化的金属纳米线的薄膜与化学试剂反应成为第二区域;以及对包含所述第一区域和所述第二区域的薄膜进行热处理;其中进行热处理后的所述第一区域与所述第二区域之间的电阻率差超过1000。
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