[实用新型]一种紫外固化灯有效
| 申请号： | 201420812240.7 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204257701U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 徐建华;邓浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L25/075;H01L33/50 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种紫外固化灯，装设在工艺腔腔壁上，包括：四对紫外灯，其中两对紫外灯设置在十字的上下两端，另两对紫外灯设置在十字的左右两端，每一对紫外灯发生旋转且旋转方向与被照射晶圆的旋转方向相反。本实用新型提供的紫外固化灯安装在单站(Single station)工艺腔中，工艺过程中先开启两对长波紫外灯，再关闭长波紫外灯、开启两对短波紫外灯，同时使每一根紫外灯旋转且旋转方向与晶圆旋转方向相反，这样可以解决应力薄膜中间过度固化的问题，提高薄膜的均匀性；还能有效去除低K薄膜中的致孔剂，提高薄膜可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 固化 | ||
【主权项】：
一种紫外固化灯，装设在工艺腔腔壁上，其特征在于，所述紫外固化灯至少包括：四对紫外灯，其中两对紫外灯设置在十字的上下两端，另两对紫外灯设置在十字的左右两端，每一对紫外灯发生旋转且旋转方向与被照射晶圆的旋转方向相反。
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