[实用新型]具有智能控制系统的曝光机

摘要

本实用新型公开了曝光设备领域的曝光机，包括机座，机座的前端为操作平台，机座的中端为曝光腔室，机座的后端为冷却机构，操作平台的顶部设有双工位台框、CCD自动对位装置和操控面板，曝光腔室的内部设有曝光光源组、位于曝光光源组下方的曝光台和散热装置，所述双工位台框上设有安全测控机构和自动升降机构，曝光光源组上设置有照度自动调节机构和曝光能量监控机构，安全测控机构、自动升降机构、照度自动调节机构和曝光能量监控机构组合构成智能控制系统。智能控制系统的设计有利于提高产品的良品率，同时减少人为调节所需的时间；同时确保出现错误时对产品本身的身我保护；避免出现任何错误和问题，进而提高了曝光机的正确率和工作效率。

主权项

具有智能控制系统的曝光机，包括机座，机座的前端为操作平台，机座的中端为曝光腔室，机座的后端为冷却机构，操作平台的底部设有控制电箱，操作平台的顶部设有双工位台框、CCD自动对位装置和操控面板，CCD自动对位装置位于双工位台框的上方，双工位台框通过滑轨交替滑入曝光腔室内，曝光腔室的内部设有曝光光源组、位于曝光光源组下方的曝光台和散热装置，散热装置位于曝光光源组的侧面，该散热装置与冷却机构相连，其特征在于：所述双工位台框上设有安全测控机构和自动升降机构，曝光光源组上设置有照度自动调节机构和曝光能量监控机构，安全测控机构、自动升降机构、照度自动调节机构和曝光能量监控机构组合构成智能控制系统;其中，安全测控机构包括用于检测双工位台框位置的位移传感器和报警器，当检测到双工位台框的位置未到达预设范围时报警器进行报警提醒，自动升降机构包括位于双工位台框两侧的接触式检测探头、安装于双工位台框前后两末端的位置检测器和安装于滑轨上的升降调整装置;照度自动调节机构由光敏传感器、纵向间距调节装置和照度调节旋钮构成，纵向间距调节装置位于曝光光源组的两侧，使曝光光源组能够纵向微调，照度调节旋钮包括手动微调旋钮和分段自动调节旋钮。