[实用新型]具有智能控制系统的曝光机

权利要求书

1.具有智能控制系统的曝光机，包括机座，机座的前端为操作平台，机座的中端为曝光腔室，机座的后端为冷却机构，操作平台的底部设有控制电箱，操作平台的顶部设有双工位台框、CCD自动对位装置和操控面板，CCD自动对位装置位于双工位台框的上方，双工位台框通过滑轨交替滑入曝光腔室内，曝光腔室的内部设有曝光光源组、位于曝光光源组下方的曝光台和散热装置，散热装置位于曝光光源组的侧面，该散热装置与冷却机构相连，其特征在于：所述双工位台框上设有安全测控机构和自动升降机构，曝光光源组上设置有照度自动调节机构和曝光能量监控机构，安全测控机构、自动升降机构、照度自动调节机构和曝光能量监控机构组合构成智能控制系统;其中，安全测控机构包括用于检测双工位台框位置的位移传感器和报警器，当检测到双工位台框的位置未到达预设范围时报警器进行报警提醒，自动升降机构包括位于双工位台框两侧的接触式检测探头、安装于双工位台框前后两末端的位置检测器和安装于滑轨上的升降调整装置;照度自动调节机构由光敏传感器、纵向间距调节装置和照度调节旋钮构成，纵向间距调节装置位于曝光光源组的两侧，使曝光光源组能够纵向微调，照度调节旋钮包括手动微调旋钮和分段自动调节旋钮。

2.根据权利要求1所述具有智能控制系统的曝光机，其特征在于：所述分段自动调节旋钮包括分段控制器和定位传感器，该定位传感器与光敏传感器均与分段控制器连接。

3.根据权利要求1或者2所述具有智能控制系统的曝光机，其特征在于：所述纵向间距调节装置包括驱动器、传动座、螺纹旋杆、纵向气缸和纵向气缸臂，传动座与螺纹旋杆传动连接，纵向气缸固定在传动座上，纵向气缸臂设置在纵向气缸上并与驱动器连接。

4.根据权利要求1或者2所述具有智能控制系统的曝光机，其特征在于：该智能控制系统还包括文件自动检查机构，该文件自动检查机构设置在控制电箱内，其包括文件存储模块、信息导出模块、打印模块和数据处理模块。

5.根据权利要求1或者2所述具有智能控制系统的曝光机，其特征在于：所述CCD自动对位装置包括由杆件和板件构成支撑架，支撑架内设有平面移动平台，平面移动平台上垂直设有旋转支撑轴，旋转支撑轴上端连接有真空吸附基板，旋转支撑轴连接有旋转驱动机构，支撑架上设有边缘感测器，边缘感测器设在真空吸附基板的一侧。

6.根据权利要求5所述具有智能控制系统的曝光机，其特征在于：在支撑架上还设有调整滑道，调整滑道上设有用于安装边缘感测器的支撑框架，边缘感测器与支撑框架连接。