[实用新型]具有智能控制系统的曝光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光设备领域，具体涉及具有智能控制系统的曝光机。

背景技术

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

通常，曝光机照度调节采用手动调节的方式。具体调节过程是：测试曝光照度，根据测试结果调整光照度不符合要求的区域对应的狭缝的宽度，重新测试曝光照度，如该区域的曝光照片仍不符合要求，再根据以上步骤反复地进行调整和测试，一般手动调整六次认上才能达到目的。因此，现有技术的曝光机在手动调节程序繁琐复杂，难以控制调节精度，影响产品质量，缩短设备使用寿命。

另外，现有技术的曝光机的智能化程度不高，在进行机械工作时，没有设置有效的安全测控功能，工作台与光掩膜板易发生碰撞，损坏等离子面板和光掩膜板，将会对设备造成严重影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决以上缺陷，提供具有智能控制系统的曝光机，其智能化程度高，提高精度和效率，可减少人工调整所需的时间。

本实用新型的目的是通过以下方式实现的：

具有智能控制系统的曝光机，包括机座，机座的前端为操作平台，机座的中端为曝光腔室，机座的后端为冷却机构，操作平台的底部设有控制电箱，操作平台的顶部设有双工位台框、CCD自动对位装置和操控面板，CCD自动对位装置位于双工位台框的上方，双工位台框通过滑轨交替滑入曝光腔室内，曝光腔室的内部设有曝光光源组、位于曝光光源组下方的曝光台和散热装置，散热装置位于曝光光源组的侧面，该散热装置与冷却机构相连。

所述双工位台框上设有安全测控机构和自动升降机构，曝光光源组上设置有照度自动调节机构和曝光能量监控机构，安全测控机构、自动升降机构、照度自动调节机构和曝光能量监控机构组合构成智能控制系统。其中，安全测控机构包括用于检测双工位台框位置的位移传感器和报警器，当检测到双工位台框的位置未到达预设范围时报警器进行报警提醒。自动升降机构包括位于双工位台框两侧的接触式检测探头、安装于双工位台框前后两末端的位置检测器和安装于滑轨上的升降调整装置。照度自动调节机构由光敏传感器、纵向间距调节装置和照度调节旋钮构成，纵向间距调节装置位于曝光光源组的两侧，使曝光光源组能够纵向微调，照度调节旋钮包括手动微调旋钮和分段自动调节旋钮。

上述说明中，作为优选的方案，所述分段自动调节旋钮包括分段控制器和定位传感器，该定位传感器与光敏传感器均与分段控制器连接。

上述说明中，作为优选的方案，所述纵向间距调节装置包括驱动器、传动座、螺纹旋杆、纵向气缸和纵向气缸臂，传动座与螺纹旋杆传动连接，纵向气缸固定在传动座上，纵向气缸臂设置在纵向气缸上并与驱动器连接。

上述说明中，作为优选的方案，该智能控制系统还包括文件自动检查机构，该文件自动检查机构设置在控制电箱内，其包括文件存储模块、信息导出模块、打印模块和数据处理模块。

上述说明中，作为优选的方案，所述CCD自动对位装置包括由杆件和板件构成支撑架，支撑架内设有平面移动平台，平面移动平台上垂直设有旋转支撑轴，旋转支撑轴上端连接有真空吸附基板，旋转支撑轴连接有旋转驱动机构，支撑架上设有边缘感测器，边缘感测器设在真空吸附基板的一侧。

上述说明中，作为优选的方案，在支撑架上还设有调整滑道，调整滑道上设有用于安装边缘感测器的支撑框架，边缘感测器与支撑框架连接。

本实用新型所产生的有益效果如下：

1)可根据控制信息对照度进行调节，以实现自动调控，从而简化照度调节程序，便于实现对每个照度调节的单独控制，提高了了照度调节的精度和效率；

2)智能控制系统的设计有利于提高产品的良品率，同时减少人为调节所需的时间；

3)安全测控机构能够确保曝光机在工作时的出错率，同时确保出现错误时对产品本身的身我保护；

4)通过曝光能量监控机构可时刻监控曝光过程的所有数据，实现透切的监控过程，避免出现任何错误和问题，进而提高了曝光机的正确率和工作效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例中智能控制系统的结构框架图；

图中，1为操作平台，2为曝光腔室，3为冷却机构，4为控制电箱，5为双工位台框，6为滑轨。