[实用新型]一种复合分子泵有效
申请号: | 201420773924.0 | 申请日: | 2014-12-10 |
公开(公告)号: | CN204327532U | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 张殿伟 | 申请(专利权)人: | 北京中凯威科技发展有限责任公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/54 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 100083 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种复合分子泵,该复合分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片部和筒式牵引部串联而成,其特征在于,包括:壳体;多个一级导流片,其螺旋设置在筒式牵引部靠近所述涡轮叶片部的外侧壁上,相邻两个所述一级导流片、筒式牵引部外侧壁和壳体内侧壁之间形成一个流体通道,且所述一级导流片的横切面为弧形;以及多个二级导流片,其与所述一级导流片同向螺旋设置在筒式牵引部靠近排气口的外侧壁上,且所述二级导流片与所述一级导流片首尾部分相互交叉设置,所述二级导流片的横切面为弧形。本实用新型结构较简单,操作方便,能够实现大抽速、高压缩比以及高真空度,并且具有较强的前级抗压能力的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 分子 | ||
【主权项】:
一种复合分子泵,该复合分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片部和筒式牵引部串联而成,其特征在于,包括:壳体;多个一级导流片,其螺旋设置在筒式牵引部靠近所述涡轮叶片部的外侧壁上,相邻两个所述一级导流片、筒式牵引部外侧壁和壳体内侧壁之间形成一个流体通道,且所述一级导流片的横切面为弧形;以及多个二级导流片,其与所述一级导流片同向螺旋设置在筒式牵引部靠近排气口的外侧壁上,且所述二级导流片与所述一级导流片首尾部分相互交叉设置,所述二级导流片的横切面为弧形。
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