[实用新型]一种复合分子泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及获得真空技术领域，特别涉及一种复合分子泵。

背景技术

随着科技的发展，要求分子泵具有大抽速、高压缩比和较强的前级抗压能力。

现有技术中的分子泵主要有两种类型：一种为涡轮分子泵，一种为盘型涡轮复合分子泵。

涡轮分子泵(专利号：85101627)具有较大的抽速，但是只能在气体为分子流状态下工作，在气体压强高于1Pa时，抽速非常低，而一些半导体工业在该压强范围要求大的抽气量，涡轮分子泵难以适合。

盘型涡轮复合分子泵主要由涡轮叶片级与盘式牵引级组成(专利号：CN87103994)。该种泵集合了涡轮泵与盘式牵引泵的优点，较涡轮分子泵在抽速和比上有所改观。但该种类泵存在以下缺点：(1)气体在涡轮级叶片之间流动为轴向流动，到盘式牵引级变为径向流动，增加了流阻，造成大量气体反流；(2)盘型牵引级抽气效率较低，与涡轮级叶片匹配性较差，易造成气体反流；(3)多级牵引级定片与动片交替组合，由于盘型制造误差及装配误差造成气体流导不均匀性，影响抽气性能。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术缺陷，提供一种结构较简单，成本低，操作方便，实用安全的复合分子泵，为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案是：

一种复合分子泵，该复合分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片部和筒式牵引部串联而成，其特征在于，包括：

壳体；

多个一级导流片，其螺旋设置在筒式牵引部靠近所述涡轮叶片部的外侧壁上，相邻两个所述一级导流片、筒式牵引部外侧壁和壳体内侧壁之间形成一个流体通道，且所述一级导流片的横切面为弧形；

以及多个二级导流片，其与所述一级导流片同向螺旋设置在筒式牵引部靠近排气口的外侧壁上，且所述二级导流片与所述一级导流片首尾部分相互交叉设置，所述二级导流片的横切面为弧形。

所述二级导流片与所述一级导流片首尾部分相互交叉设置，可以实现在交叉部位对气流进行急速压缩分流，增大气流压强，提高压缩比。

所述一级导流片和所述二级导流片的横切面为弧形，可以保证气流在压缩过程中，气体分子与所述一级导流片或所述二级导流片表面的接触面积，增大碰撞产生的动能，提高气体分子的活跃度，促进气体流动速度；并且减少气体分子的流失；缩短抽真空时间。

优选的是，所述的复合分子泵还包括：

多个缺刻，其设置在所述多个二级导流片上，且一个所述二级导流片上设置至少一个所述缺刻，以使得每个所述二级导流片上的至少一个所述缺刻的中心线所在平面与所述筒式牵引部的横切面平行；

多个辅助压缩片，其均匀间隔开设置在所述壳体内侧壁上，并且使得多个辅助压缩片的中心线与所述多个缺刻的中心线处于同一平面，所述辅助压缩片相对于所述壳体的轴线倾斜设置；

其中，所述多个缺刻的开口宽度大于所述辅助压缩片在所述壳体轴向方向的高度。

筒式牵引部带动第一导流片和第二导流片旋转的过程中，辅助压缩片会经过缺刻的开口处，并且在筒式牵引部高速旋转的过程中配合辅助压缩片和缺刻形成至少两个气体流动的小腔室，使气体流动过程中不会由于进气口处的气压降低发生气体回流的情况，提高抽真空效率和真空度。

两个相邻的辅助压缩片之间间隔开一定距离，可以保证气流流动畅通。

优选的是，所述一级导流片和所述二级导流片的弧形圆心靠近排气口方向设置。

优选的是，所述一级导流片和所述二级导流片的弧形的弧度为30-60度。

优选的是，所述一级导流片与所述二级导流片的长度比例为1-3∶5。

优选的是，所述一级导流片与所述二级导流片的交叉的长度小于所述一级导流片长度的1/3。

优选的是，所述缺刻为矩形。

优选的是，所述辅助压缩片与所述壳体的轴线的夹角大于10度。

这样设置，可以保证辅助压缩片给空气分子提供一个气体流动的推力，保证气流的方向不会发生改变，提高气体抽真空的速率。

优选的是，涡轮叶片部还包括：

转子体；

涡轮动叶片，其设置在转子体上；

涡轮静叶片，其设置在所述壳体内侧壁上；

以及电机，其驱动转子体。

本实用新型的有益效果是：

所述二级导流片与所述一级导流片首尾部分相互交叉设置，可以实现在交叉部位对气流进行急速压缩分流，增大气流压强，提高压缩比；