[实用新型]一种复合分子泵

权利要求书

1.一种复合分子泵，该复合分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片部和筒式牵引部串联而成，其特征在于，包括：

壳体；

多个一级导流片，其螺旋设置在筒式牵引部靠近所述涡轮叶片部的外侧壁上，相邻两个所述一级导流片、筒式牵引部外侧壁和壳体内侧壁之间形成一个流体通道，且所述一级导流片的横切面为弧形；

以及多个二级导流片，其与所述一级导流片同向螺旋设置在筒式牵引部靠近排气口的外侧壁上，且所述二级导流片与所述一级导流片首尾部分相互交叉设置，所述二级导流片的横切面为弧形。

2.如权利要求1所述的复合分子泵，其特征在于，还包括：

多个缺刻，其设置在所述多个二级导流片上，且一个所述二级导流片上设置至少一个所述缺刻，以使得每个所述二级导流片上的至少一个所述缺刻的中心线所在平面与所述筒式牵引部的横切面平行；

多个辅助压缩片，其均匀间隔开设置在所述壳体内侧壁上，并且使得多个辅助压缩片的中心线与所述多个缺刻的中心线处于同一平面，所述辅助压缩片相对于所述壳体的轴线倾斜设置；

其中，所述多个缺刻的开口宽度大于所述辅助压缩片在所述壳体轴向方向的高度。

3.如权利要求1所述复合分子泵，其特征在于，所述一级导流片和所述二级导流片的弧形圆心靠近排气口方向设置。

4.如权利要求3所述的复合分子泵，其特征在于，所述一级导流片和所述二级导流片的弧形的弧度为30-60度。

5.如权利要求1所述复合分子泵，其特征在于，所述一级导流片与所述二级导流片的长度比例为1-3∶5。

6.如权利要求5所述的复合分子泵，其特征在于，所述一级导流片与所述二级导流片的交叉的长度小于所述一级导流片长度的1/3。

7.如权利要求2所述的复合分子泵，其特征在于，所述缺刻为矩形。

8.如权利要求2所述的复合分子泵，其特征在于，所述辅助压缩片与所述壳体的轴线的夹角大于10度。

9.如权利要求1-8中任一项所述的复合分子泵，其特征在于，涡轮叶片部还包括：

转子体；

涡轮动叶片，其设置在转子体上；

涡轮静叶片，其设置在所述壳体内侧壁上；

以及电机，其驱动转子体。