[实用新型]微机电可变形结构和三轴微机电陀螺仪有效
| 申请号： | 201420731958.3 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN204188170U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张廷凯 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微机电可变形结构，包括：基板；位于基板上的外框架，以外框架的中心为原点；位于外框架内部的第一联动部，第一联动部包括第一联动梁，两条杠杆梁、两条第二联动梁；第一联动梁和第二联动梁均平行于y轴设置，杠杆梁均平行于x轴设置；两条杠杆梁关于x轴对称且分别与第一联动梁连接以形成一端开口的方框结构；第二联动梁关于x轴对称且位于杠杆梁和外框架之间，第二联动梁的一端连接邻近的一条杠杆梁，另一端连接外框架。本实用新型还涉及一种三轴微机电陀螺仪。本实用新型的微机电可变形结构，在受到外力作用时，外框架、内框架、以及方框结构均能产生变形扭曲的效果，同时具有良好的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 变形 结构 陀螺仪 | ||
【主权项】：
一种微机电可变形结构，其特征在于，包括：基板；位于所述基板上的外框架，其中心为原点；位于所述外框架内部的第一联动部，所述第一联动部包括第一联动梁，两条杠杆梁、两条第二联动梁；所述第一联动梁和所述第二联动梁均平行于y轴设置，所述杠杆梁均平行于x轴设置；所述两条杠杆梁关于x轴对称且分别与所述第一联动梁连接以形成一端开口的方框结构；所述第二联动梁关于x轴对称且位于所述杠杆梁和所述外框架之间，所述第二联动梁的一端连接邻近的一条杠杆梁，另一端连接所述外框架。
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