[实用新型]一种半导体Fab生产线工艺监控系统有效
| 申请号： | 201420720838.3 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN204206349U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 赵叶;吕沛微;杜鼎立 | 申请（专利权）人： | 西安寰微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04N7/18 | 分类号： | H04N7/18 |
| 代理公司： | 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 61218 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于Fab设备实时监控技术领域，特别涉及一种半导体Fab生产线工艺监控系统。该半导体Fab生产线工艺监控系统包括：数据库服务器、以太网交换机、N个Fab监控子系统；所述以太网交换机分别电连接N个Fab监控子系统，以太网交换机的输出端电连接数据库服务器；每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、多个网络摄像机；每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 fab 生产线 工艺 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，包括：数据库服务器、以太网交换机、以及第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于1的自然数；所述以太网交换机的输入端分别电连接第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，所述以太网交换机的输出端电连接数据库服务器；所述每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、以及多个网络摄像机；每个网络摄像机设置在Fab设备上，每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。
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