[实用新型]连接加热件和接触板的接触装置和具有该装置的加热设备有效

专利信息
申请号: 201420716860.0 申请日: 2014-11-25
公开(公告)号: CN204589299U 公开(公告)日: 2015-08-26
发明(设计)人: K.艾伦;P-A.博丁;O.费龙;P.S.劳弗;M.E.奥本 申请(专利权)人: 艾克斯特朗欧洲公司
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 侯宇
地址: 德国黑*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 实用新型涉及一种用于电气和机械连接用来加热CVD反应器(1)的基座(5)的加热设备(6)的加热件(10)与供电元件(36)的装置,所述装置具有用于与所述加热件(10)相连的头部(12)、用于与接触件(36)相连的支脚(24)和布置在所述头部(12)与支脚(24)之间的杆部(21)。为了减小温度梯度建议,所述杆部(21)至少局部具有比所述头部(12)更小的横截面,从而使所述杆部(21)内的单位长度的电阻大于所述头部(1)内的单位长度的电阻。本实用新型还涉及一种用于加热CVD反应器的基座的加热设备,其加热件借助至少一个连接器与供电元件(36)相连。
搜索关键词: 连接 加热 接触 装置 具有 设备
【主权项】:
一种用于电气和机械连接用来加热CVD反应器(1)的基座(5)的加热设备(6)的加热件(10)与供电元件(36)的装置,所述装置具有用于与所述加热件(10)相连的头部(12)、用于与接触件(36)相连的支脚(24)和布置在所述头部(12)与支脚(24)之间的杆部(21),其特征在于,所述杆部(21)至少局部具有比所述头部(12)更小的横截面,从而使所述杆部(21)内的单位长度的电阻大于所述头部(1)内的单位长度的电阻。
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