[实用新型]连接加热件和接触板的接触装置和具有该装置的加热设备

摘要

本实用新型涉及一种用于电气和机械连接用来加热CVD反应器(1)的基座(5)的加热设备(6)的加热件(10)与供电元件(36)的装置，所述装置具有用于与所述加热件(10)相连的头部(12)、用于与接触件(36)相连的支脚(24)和布置在所述头部(12)与支脚(24)之间的杆部(21)。为了减小温度梯度建议，所述杆部(21)至少局部具有比所述头部(12)更小的横截面，从而使所述杆部(21)内的单位长度的电阻大于所述头部(1)内的单位长度的电阻。本实用新型还涉及一种用于加热CVD反应器的基座的加热设备，其加热件借助至少一个连接器与供电元件(36)相连。

主权项

一种用于电气和机械连接用来加热CVD反应器(1)的基座(5)的加热设备(6)的加热件(10)与供电元件(36)的装置，所述装置具有用于与所述加热件(10)相连的头部(12)、用于与接触件(36)相连的支脚(24)和布置在所述头部(12)与支脚(24)之间的杆部(21)，其特征在于，所述杆部(21)至少局部具有比所述头部(12)更小的横截面，从而使所述杆部(21)内的单位长度的电阻大于所述头部(1)内的单位长度的电阻。