[实用新型]一种自动避让防撞顶针装置有效
| 申请号: | 201420710853.X | 申请日: | 2014-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN204271063U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
| 发明(设计)人: | 刘宇峰;王海丽;赫欢欢;李春阳;张勇 | 申请(专利权)人: | 湖北华威科智能技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/683 |
| 代理公司: | 武汉华旭知识产权事务所 42214 | 代理人: | 刘荣;周宗贵 |
| 地址: | 436070 湖北省鄂州*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种自动避让防撞顶针装置,包括支架以及安装于支架上的伺服电机、气缸以及顶针轴座,顶针轴座上安装有顶针,所述的支架的底部设置有调整座,所述的调整座为双层式结构,其上层为活动座、下层为底座,活动座和底座之间通过螺钉固定,支架固定于活动座的一侧的上方,底座的底部设置有调整垫,活动座上设置有防撞器和定向销,所述的防撞器由螺柱、球座、压簧A、外罩以及螺母组成;所述的定向销由弹性销、螺塞、销座、压簧B、销轴以及销套组成。该装置能够在WAFER调节平台X向、Y向传感器失灵或者异常超程而导致撞向顶针时,在足够的空间内自动避让撞击,从而保护顶针不被撞坏。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 自动 避让 顶针 装置 | ||
【主权项】:
一种自动避让防撞顶针装置,至少包括支架以及安装于支架上的伺服电机、气缸以及顶针轴座,顶针轴座上安装有顶针,伺服电机和气缸均安装于顶针的下方,其特征在于:所述的支架的底部设置有调整座,所述的调整座为双层式结构,其上层为活动座、下层为底座,活动座和底座之间通过螺钉固定,支架固定于活动座的一侧的上方,底座的底部设置有调整垫,活动座上设置有防撞器和定向销,所述的防撞器由螺柱、球座、压簧A、外罩以及螺母组成,其中螺柱插入于调整座中,且螺柱的底端穿过活动座位于底座内,球座套在螺柱上,且球座底部的球面位于活动座内,外罩套在球座上,且螺柱的顶端穿出外罩,螺母安装于螺柱的顶端,并将外罩固定于螺柱上,压簧A套在螺柱上,且位于球座和外罩之间;所述的定向销由弹性销、螺塞、销座、压簧B、销轴以及销套组成,其中销套安装于活动座上,销座安装固定于销套的上方,螺塞固定于销座的顶部,所述销轴穿过螺塞、销座以及销套,销轴的底端位于调整座内,弹性销固定于销轴的顶部,压簧B套在销轴上,且其两端分别顶在螺塞和销套上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





