[实用新型]屏蔽掩模组件有效
| 申请号： | 201420703445.1 | 申请日： | 2014-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN204424321U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型所描述的实施方式大体涉及一种屏蔽掩模组件。所述屏蔽掩模组件能用于沉积腔室中，尤其用于OLED领域。在一个实施方式中，屏蔽掩模组件包括：掩模，所述掩模具有由围绕图案的多个掩模支撑件界定的图案，其中所述掩模由陶瓷材料制成；及连接至所述掩模的框架。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽 模组 | ||
【主权项】：
一种屏蔽掩模组件，其特征在于，所述屏蔽掩模组件包含：掩模，所述掩模内形成有多个图案界定特征，其中所述掩模由陶瓷材料制成；及框架，所述框架连接至所述掩模。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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