[实用新型]一种附加振动低压化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种低压化学气相沉积装置，本实用新型的一种附加振动低压化学气相沉积装置，上端盖、进气法兰、筒体、排气法兰密封连接，排气法兰、下端盖密封成真空腔体，筒体周围套设有加热架，加热架内设有加热丝，上端盖上通过进气管路与一供气装置连通，排气法兰通过抽气管与一机械泵连通，机械泵上还设有排气管，真空腔体内竖直设有多根固定杆，固定杆上水平设有一弹簧板，弹簧板上设有一工作台，工作台上设有一收集板，工作台底部连接设有一连接孔，下端盖下方设有一激振器，激振器输出端连接配合以传输杆，传输杆穿透下端盖后伸入工作台底部的连接孔内，并分别与下端盖和工作台固定连接。本实用新型能够达到低能耗、低耗时、低应力的效果。

主权项

一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：包括由上端盖、进气法兰、筒体、排气法兰和下端盖构成的真空腔体，所述上端盖与进气法兰顶部密封连接，所述进气法兰底部与筒体顶部密封连接，所述筒体底部与排气法兰密封连接，所述排气法兰底部与下端盖密封固定连接，所述筒体周围套设有加热架，所述加热架内设有加热丝，所述上端盖上通过进气管路与一供气装置连通，所述排气法兰通过抽气管与一机械泵连通，所述机械泵上还设有排气管，所述真空腔体内竖直设有多根固定杆，所述固定杆上水平设有一弹簧板，所述弹簧板上设有一工作台，所述工作台上设有一收集板，所述工作台底部连接设有一连接孔，所述下端盖下方设有一激振器，所述激振器输出端连接配合以传输杆，所述传输杆穿透所述下端盖后伸入工作台底部的连接孔内，并分别与下端盖和工作台固定连接。