[实用新型]一种用于超薄硅片切割的新型槽轮有效
| 申请号： | 201420653613.0 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN204209844U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李兵兵;匡文军;章明远;武瑞;赵存凤 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于超薄硅片切割的新型槽轮，其包括圆柱形槽轮主体，在所述槽轮主体的侧面上由头部到尾部均匀排列有圆形布线槽，由头部到尾部的所述圆形布线槽槽底到槽轮主体的轴线距离依次递增L。优点在于：有效降低了槽轮尾部硅片总厚度变化大的情况，确保了切割整体硅片的厚度呈均匀分布，从而提高了硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 超薄 硅片 切割 新型 | ||
【主权项】：
一种用于超薄硅片切割的新型槽轮，其包括圆柱形槽轮主体，在所述槽轮主体的侧面上由头部到尾部均匀排列有圆形布线槽，其特征在于，由头部到尾部的所述圆形布线槽槽底到槽轮主体的轴线距离依次递增L。
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