[实用新型]一种用于超薄硅片切割的新型槽轮有效
申请号: | 201420653613.0 | 申请日: | 2014-10-31 |
公开(公告)号: | CN204209844U | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 李兵兵;匡文军;章明远;武瑞;赵存凤 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 超薄 硅片 切割 新型 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于超薄硅片切割的新型槽轮,其包括圆柱形槽轮主体,在所述槽轮主体的侧面上由头部到尾部均匀排列有圆形布线槽,其特征在于,由头部到尾部的所述圆形布线槽槽底到槽轮主体的轴线距离依次递增L。
2.根据权利要求1所述的一种用于超薄硅片切割的新型槽轮,其特征在于,所述槽轮主体头部的所述圆形布线槽槽底到轴线距离A为95mm-110mm。
3.根据权利要求1或2任一所述的一种用于超薄硅片切割的新型槽轮,其特征在于,所述L为0.1-0.12mm。
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