[实用新型]光刻胶剥离液制备装置有效
申请号: | 201420620112.2 | 申请日: | 2014-10-25 |
公开(公告)号: | CN204241836U | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 李虎宝;翁蕾蕾 | 申请(专利权)人: | 江阴市化学试剂厂有限公司;江南大学 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;申萍 |
地址: | 214421 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光刻胶剥离液制备装置,其特征在于它包括配制罐(1)、苯酚储罐(2)、蒸汽槽(3)、溶剂储罐(4)、混合罐(5)、乳化剂储罐(6)、络合剂储罐(7)、过滤装置(8)以及成品罐(9),所述配制罐(1)的顶部设置有三个进料口,三个进料口分别连接苯酚储罐(2)、溶剂储罐(4)以及混合罐(5)的出料口,苯酚储罐(2)设置于蒸汽槽(3)内,混合罐(5)的顶部设置有两个进料口,两个进料口分别连接乳化剂储罐(6)以及络合剂储罐(7)的出料口,所述配制罐(1)的出料口通过管道连接成品罐(9)。本实用新型光刻胶剥离液制备装置生产出的光刻胶剥离液具有油溶性好水溶性好,不会侵蚀铝银材质的优点。 | ||
搜索关键词: | 光刻 剥离 制备 装置 | ||
【主权项】:
一种光刻胶剥离液制备装置,其特征在于它包括配制罐(1)、苯酚储罐(2)、蒸汽槽(3)、溶剂储罐(4)、混合罐(5)、乳化剂储罐(6)、络合剂储罐(7)、过滤装置(8)以及成品罐(9),所述配制罐(1)的顶部设置有三个进料口,三个进料口分别连接苯酚储罐(2)、溶剂储罐(4)以及混合罐(5)的出料口,苯酚储罐(2)设置于蒸汽槽(3)内,混合罐(5)的顶部设置有两个进料口,两个进料口分别连接乳化剂储罐(6)以及络合剂储罐(7)的出料口,所述配制罐(1)的出料口通过管道连接成品罐(9),管道上设置过滤装置(8)。
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