[实用新型]光刻胶剥离液制备装置有效
| 申请号： | 201420620112.2 | 申请日： | 2014-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN204241836U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 李虎宝;翁蕾蕾 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司;江南大学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;申萍 |
| 地址： | 214421 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 制备 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶剥离液制备装置，其特征在于它包括配制罐（1）、苯酚储罐（2）、蒸汽槽（3）、溶剂储罐（4）、混合罐（5）、乳化剂储罐（6）、络合剂储罐（7）、过滤装置（8）以及成品罐（9），所述配制罐（1）的顶部设置有三个进料口，三个进料口分别连接苯酚储罐（2）、溶剂储罐（4）以及混合罐（5）的出料口，苯酚储罐（2）设置于蒸汽槽（3）内，混合罐（5）的顶部设置有两个进料口，两个进料口分别连接乳化剂储罐（6）以及络合剂储罐（7）的出料口，所述配制罐（1）的出料口通过管道连接成品罐（9），管道上设置过滤装置（8）。
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