[实用新型]一种用于平行束离子源的阳极装置有效
| 申请号： | 201420615653.6 | 申请日： | 2014-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN204289360U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 孙雪平;佘鹏程;彭立波;陈特超;刘欣;廖焕金 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;李发军 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于平行束离子源的阳极装置。为了提高离子源放电室内的电场分布均匀性，所述用于平行束离子源的阳极装置包括阳极底板，在阳极底板上表面固定装设有多个金属环，相邻两个金属环中，一个金属环位于另一个金属环内，且相邻两个金属环之间具有间隙。本实用新型的阳极装置提高了离子源出口离子束均匀性，从而提高了刻蚀工艺均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平行 离子源 阳极 装置 | ||
【主权项】：
一种用于平行束离子源的阳极装置，包括阳极底板（1），其特征在于，在阳极底板（1）上表面固定装设有多个金属环（2）；相邻两个金属环（2）中，一个金属环位于另一个金属环内，且相邻两个金属环（2）之间具有间隙。
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