[实用新型]一种用于平行束离子源的阳极装置有效
| 申请号： | 201420615653.6 | 申请日： | 2014-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN204289360U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 孙雪平;佘鹏程;彭立波;陈特超;刘欣;廖焕金 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强;李发军 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平行 离子源 阳极 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于平行束离子源的阳极装置，包括阳极底板（1），其特征在于，在阳极底板（1）上表面固定装设有多个金属环（2）；相邻两个金属环（2）中，一个金属环位于另一个金属环内，且相邻两个金属环（2）之间具有间隙。
2.根据权利要求1所述的用于平行束离子源的阳极装置，其特征在于，多个金属环（2）中，位于外侧的金属环垂直于阳极底板（1）的高度低于位于内侧的金属环。
3.根据权利要求1所述的用于平行束离子源的阳极装置，其特征在于，所述阳极底板（1）上设有减少其在离子源放电室内径向方向表面积的结构。
4.根据权利要求1或3所述的用于平行束离子源的阳极装置，其特征在于，所述阳极底板（1）为三叉结构或具有多个开孔的镂空板。
5.根据权利要求1~3之一所述的用于平行束离子源的阳极装置，其特征在于，所述金属环（2）为圆环，且同心布置。
6.根据权利要求1~3之一所述的用于平行束离子源的阳极装置，其特征在于，所述金属环（2）有3-6个。
7.根据权利要求1~3之一所述的用于平行束离子源的阳极装置，其特征在于，所述金属环（2）为耐高温且不导磁材料制成的环。
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