[实用新型]一种沉积多元膜材的共蒸发系统有效
| 申请号： | 201420596130.1 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204125524U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王开安;黄仲漩;丁坤宝;林恩浩;王大亮 | 申请（专利权）人： | 奥昱新材料技术（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市南湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种沉积多元膜材的共蒸发系统，所述共蒸发系统包括多个蒸发源，每个蒸发源配有蒸发源控制器，同时蒸发源放置于蒸发源封闭体内。所述共蒸发系统还带有蒸气混合室，各个蒸发源封闭体与蒸气混合室之间通过封闭管道连接，连接管道以及蒸气混合室配有加热装置，各个蒸发源与蒸气混合室的连接管道接口处以及蒸气混合室的出气口处安装了可变蒸气过滤器。通过本实用新型可在大面积衬底上制备出厚度及组分均匀的多元化合物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 多元 蒸发 系统 | ||
【主权项】：
一种沉积多元膜材的共蒸发系统，其特征在于，其包括多个蒸发源、多个蒸发源控制器、蒸发源封闭体、蒸气混合室、蒸气传输管道；所述的蒸发源用于蒸发多元膜材，每个蒸发源配有一个蒸发源控制器，用于精确控制膜材蒸气的流量；蒸发源封闭体能提高蒸发源的热效率，减少热量的散失；蒸发源产生的膜材蒸气经传输管道传送至蒸气混合室以产生混合蒸气，所述混合蒸气流向衬底在其表面沉积多元膜材的混合物。
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