[实用新型]一种沉积多元膜材的共蒸发系统

权利要求书

1.一种沉积多元膜材的共蒸发系统，其特征在于，其包括多个蒸发源、多个蒸发源控制器、蒸发源封闭体、蒸气混合室、蒸气传输管道；所述的蒸发源用于蒸发多元膜材，每个蒸发源配有一个蒸发源控制器，用于精确控制膜材蒸气的流量；蒸发源封闭体能提高蒸发源的热效率，减少热量的散失；蒸发源产生的膜材蒸气经传输管道传送至蒸气混合室以产生混合蒸气，所述混合蒸气流向衬底在其表面沉积多元膜材的混合物。

2.如权利要求1所述共蒸发系统，其特征在于，进一步包括：混合蒸气传输管道，用于将混合蒸气引至衬底沉积表面附近，以减少膜材蒸气的泄漏。

3.如权利要求1所述共蒸发系统，其特征在于，进一步包括：加热装置，用于给传输管道以及混合室加热，以防止膜材蒸气在其表面冷凝。

4.如权利要求1所述共蒸发系统，其特征在于，进一步包括：蒸气过滤器，用于调节膜材蒸气流入蒸气混合室的流量，以及混合蒸气过滤器，用于调节混合蒸气流向衬底的流量。

5.如权利要求1所述共蒸发系统，其特征在于，进一步包括：所述的蒸气混合室位于衬底下方，同时混合蒸气被引向上方的衬底。

6.如权利要求1所述共蒸发系统，其特征在于，所述的蒸气混合室位于衬底上方，同时混合蒸气被引向下方的衬底。