[实用新型]压电式加速度传感器有效
| 申请号： | 201420587574.9 | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN204129068U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李祥明;李忠平 | 申请（专利权）人： | 上海天英微系统科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01P15/097 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种压电式加速度传感器，包括依次设置的支撑层、振膜层及压电薄膜层，所述支撑层具有一窗口，所述窗口暴露出部分所述振膜层，以使部分所述振膜层悬空，在具有加速度信号时，悬空的振膜层产生形变，所述振膜层的形变带动所述压电薄膜层产生形变，所述压电薄膜层背向和朝向所述振膜层的表面分别设置有上电极及下电极，以将所述压电薄膜层形变产生的电信号传递给外部测量装置。本实用新型的优点在于，压电薄膜层为一连续的整体，使得压电薄膜层在全范围内响应振膜层的形变，扩大了压电式加速度传感器的量程；提高压电式加速度传感器的抗高过载性；可大大提高压电式加速度传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种压电式加速度传感器，其特征在于，包括依次设置的支撑层、振膜层及压电薄膜层，所述支撑层具有一窗口，所述窗口暴露出部分所述振膜层，以使部分所述振膜层悬空，在具有加速度信号时，悬空的振膜层产生形变，所述振膜层的形变带动所述压电薄膜层产生形变，所述压电薄膜层背向和朝向所述振膜层的表面分别设置有上电极及下电极，以将所述压电薄膜层形变产生的电信号传递给外部测量装置。
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