[实用新型]压电式加速度传感器

权利要求书

1.一种压电式加速度传感器，其特征在于，包括依次设置的支撑层、振膜层及压电薄膜层，所述支撑层具有一窗口，所述窗口暴露出部分所述振膜层，以使部分所述振膜层悬空，在具有加速度信号时，悬空的振膜层产生形变，所述振膜层的形变带动所述压电薄膜层产生形变，所述压电薄膜层背向和朝向所述振膜层的表面分别设置有上电极及下电极，以将所述压电薄膜层形变产生的电信号传递给外部测量装置。

2.根据权利要求1所述的压电式加速度传感器，其特征在于，还包括一设置在所述窗口内且与所述振膜层连接的质量块，所述质量块将加速度信号传递给所述振膜层，以使所述振膜层产生形变。

3.根据权利要求1所述的压电式加速度传感器，其特征在于，在所述振膜层朝向所述压电薄膜层的表面设置有绝缘层，所述绝缘层用于所述振膜层与所述下电极或所述压电薄膜层之间的绝缘。

4.根据权利要求1所述的压电式加速度传感器，其特征在于，所述压电薄膜层朝向所述振膜层的表面全部或部分与所述下电极接触。

5.根据权利要求1所述的压电式加速度传感器，其特征在于，还包括上电极端子及下电极端子，所述上电极端子与所述上电极连接，用以为所述上电极提供与外部装置的连接点，所述下电极端子与所述下电极连接，用以为所述下电极提供与外部装置的连接点。

6.根据权利要求1所述的压电式加速度传感器，其特征在于，所述支撑层设置在一外部下壳的表面，一外部上壳与所述振膜层键合，以将所述压电式加速度传感器封装。