[实用新型]质量流量控制器有效
申请号: | 201420547277.1 | 申请日: | 2014-09-22 |
公开(公告)号: | CN204215278U | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 毛宇 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种质量流量控制器,包括:阀体;传感器,与所述阀体相连,用于检测流经所述阀体的流体的流量;主控制器,与所述传感器连接,用于控制流经所述阀体的流体的流量;微处理器,与所述主控制器和传感器连接,用于对所述质量流量控制器进行零点补偿。在本实用新型提供的质量流量控制器中,增设了微处理器,通过所述微处理器检测零流量状态下的零点漂移电压,并根据所述零点漂移电压计算零点漂移的补偿值,从而实现自动补偿。 | ||
搜索关键词: | 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】:
一种质量流量控制器,其特征在于,包括:阀体;传感器,与所述阀体相连,用于检测流经所述阀体的流体的流量;主控制器,与所述传感器连接,用于控制流经所述阀体的流体的流量;微处理器,与所述主控制器和传感器连接,用于对所述质量流量控制器进行零点补偿。
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