[实用新型]质量流量控制器有效

专利信息
申请号: 201420547277.1 申请日: 2014-09-22
公开(公告)号: CN204215278U 公开(公告)日: 2015-03-18
发明(设计)人: 毛宇 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G05D7/06 分类号: G05D7/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 质量 流量 控制器
【权利要求书】:

1.一种质量流量控制器,其特征在于,包括:

阀体;

传感器,与所述阀体相连,用于检测流经所述阀体的流体的流量;

主控制器,与所述传感器连接,用于控制流经所述阀体的流体的流量;

微处理器,与所述主控制器和传感器连接,用于对所述质量流量控制器进行零点补偿。

2.如权利要求1所述的质量流量控制器,其特征在于,所述阀体包括主阀和分流器,所述分流器具有分流入口和分流出口,所述分流器通过所述分流入口和分流出口与所述阀体贯通。

3.如权利要求2所述的质量流量控制器,其特征在于,还包括:计时器、第一阀门和第二阀门;所述第一阀门和第二阀门分别设置于所述传感器的两端,用于控制流经所述传感器的流量;所述微处理器通过计时器控制所述第一阀门和第二阀门,所述计时器用于设定零点漂移电压的采集频率。

4.如权利要求3所述的质量流量控制器,其特征在于,所述第一阀门和第二阀门分别位于所述分流入口和分流出口。

5.如权利要求1所述的质量流量控制器,其特征在于,还包括零点漂移自动补偿超限报警装置,所述零点漂移自动补偿超限报警装置与所述微处理器连接,所述零点漂移自动补偿超限报警装置根据所述主控制器发出的控制指令进行报警。

6.如权利要求1所述的质量流量控制器,其特征在于,还包括手动零点校正电路,所述手动零点校正电路与所述微处理器连接,用于实现零点漂移的手动补偿。

7.如权利要求1所述的质量流量控制器,其特征在于,还包括一调节阀,所述调节阀与所述阀体相连,用于调节流出所述阀体的流量。

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