[实用新型]质量流量控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体流量监控技术领域，特别涉及一种质量流量控制器。

背景技术

质量流量控制器(Mass Flow Controller，简称MFC)是一种能够直接对气体或液体的质量流量进行精确测量和控制的器件，具有精度高、重复性好等优点。因此，广泛用于半导体、石油化工、冶金、制药等领域。

在半导体工业中，许多制造工序都需要使用反应气体，例如离子蚀刻﹑气相淀积等制造工艺。将各种反应气体供给到半导体机台时需要控制反应气体的流量，因此在各种反应气体的供给流路中都分别设置有质量流量控制器。

在实际使用过程中发现，现有的质量流量控制器存在零点漂移(Zero Point shift)问题，零点漂移会影响重复性，导致测量值不准确，进而影响质量流量控制器的精度。具体地说，在半导体制造工艺中，质量流量控制器出现零点漂移会造成气体流量偏差，进而导致薄膜(Film)的成分和结构的改变，影响半导体器件的性能，甚至造成产品良率下降。

引起质量流量控制器零点漂移的原因很多，例如工作温度过高、器件线路老化、反应气体中含有固体异物或传感器(Sensor)本身的热漂移等，都会使所述质量流量控制器的零点产生漂移。

由于现有的质量流量控制器无法自动反馈零点漂移的数据信号，因此目前只能通过设备点检以收集零点漂移的数据或确认所述质量流量控制器的使用时间，根据设备点检情况确定是否需要进行手动调整对零点漂移进行补偿。采用这种人工监控方式比较费时，而且零点漂移无法得到及时补偿。因此，无法有效地防止零点漂移的发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种质量流量控制器，以解决现有技术中质量流量控制器发生零点漂移无法及时得到补偿而影响其重复性的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种质量流量控制器，所述质量流量控制器包括：

阀体；

传感器，与所述阀体相连，用于检测流经所述阀体的流体的流量；

主控制器，与所述传感器连接，用于控制流经所述阀体的流体的流量；

微处理器，与所述主控制器和传感器连接，用于对所述质量流量控制器进行零点补偿。

可选的，在所述的质量流量控制器中，所述阀体包括主阀和分流器，所述分流器具有分流入口和分流出口，所述分流器通过所述分流入口和分流出口与所述阀体贯通。

可选的，在所述的质量流量控制器中，还包括：计时器、第一阀门和第二阀门；所述第一阀门和第二阀门分别设置于所述传感器的两端，用于控制流经所述传感器的流量；所述微处理器通过计时器控制所述第一阀门和第二阀门，所述计时器用于设定零点漂移电压的采集频率。

可选的，在所述的质量流量控制器中，所述第一阀门和第二阀门分别位于所述分流入口和分流出口。

可选的，在所述的质量流量控制器中，还包括零点漂移自动补偿超限报警装置，所述零点漂移自动补偿超限报警装置与所述微处理器连接，所述零点漂移自动补偿超限报警装置根据所述主控制器发出的控制指令进行报警。

可选的，在所述的质量流量控制器中，还包括手动零点校正电路，所述手动零点校正电路与所述微处理器连接，用于实现零点漂移的手动补偿。

可选的，在所述的质量流量控制器中，还包括一调节阀，所述调节阀与所述阀体相连，用于调节流出所述阀体的流量。

综上所述，在本实用新型提供的质量流量控制器中，增设了微处理器，通过所述微处理器检测零流量状态下的零点漂移电压，并根据所述零点漂移电压计算零点漂移的补偿值，从而实现自动补偿。

附图说明

图1是本实用新型实施例的质量流量控制器的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的质量流量控制器作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1，其为本实用新型实施例的质量流量控制器的结构示意图。如图1所示，所述质量流量控制器200包括：阀体210；传感器220，与所述阀体210相连，用于检测流经所述阀体210的流体的流量；主控制器230，与所述传感器220连接，用于控制流经所述阀体的流体的流量；微处理器260，分别与所述主控制器230和传感器220连接，用于对所述质量流量控制器200进行零点补偿。