[实用新型]半导体除尘装置有效
申请号: | 201420522292.0 | 申请日: | 2014-09-12 |
公开(公告)号: | CN204122436U | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 马剑锋 | 申请(专利权)人: | 舟山润达电子有限公司 |
主分类号: | B08B15/02 | 分类号: | B08B15/02 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 应圣义 |
地址: | 316013 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体除尘装置,包括支架,所述的支架上设有工作台,所述的工作台与支架固定连接,所述的工作台上设有工作围板,所述的工作围板与工作台可拆卸连接,所述的工作围板上设有吹尘管,所述的吹尘管与工作围板固定连接,所述的工作台中心位置设有工作孔,所述的工作孔下方连接有吸尘件,所述的吸尘件上端与工作台固定连接,所述的吸尘件下端连接有吸尘装置,所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。本实用新型结构简单,使用方便,制作成本较低,且体积小,不占空间,利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘,从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染,有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。 | ||
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【主权项】:
一种半导体除尘装置,包括支架,其特征是,所述的支架上设有工作台,所述的工作台与支架固定连接,所述的工作台上设有工作围板,所述的工作围板与工作台可拆卸连接,所述的工作围板上设有吹尘管,所述的吹尘管与工作围板固定连接,所述的工作台中心位置设有工作孔,所述的工作孔下方连接有吸尘件,所述的吸尘件上端与工作台固定连接,所述的吸尘件下端连接有吸尘装置,所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。
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