[实用新型]一种高效多晶铸锭炉热场结构有效
| 申请号: | 201420514360.9 | 申请日: | 2014-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN204111927U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
| 发明(设计)人: | 唐青岗 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司: | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人: | 刘喜莲 |
| 地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型是一种高效多晶铸锭炉热场结构,包括:炉体和设在炉体内的隔热笼;设在隔热笼内的上加热器和下加热器;设在上加热器和下加热器之间的石英坩埚;设在石英坩埚下面的石墨底板及设在石墨底板四边上面的石墨侧板,石英坩埚埋于石墨侧板之间;设在所述的石墨底板下面的定向凝固块;水平地设在定向凝固块四周的热场板,其一端与隔热笼內臂相接,其另一端的下表面搭接在定向凝固块上;设在石墨侧板与石墨底板之间的第一隔热层及设在热场板上表面的第二隔热层;设在石墨底板和定向凝固块之间的保温层。本实用新型能够提供适合的高效热场,使多晶硅碇在长晶过程中固液界面分布合理,利于长晶过程中的杂质排杂,能够大大提高晶体的整体质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 高效 多晶 铸锭 炉热场 结构 | ||
【主权项】:
一种高效多晶铸锭炉热场结构,其特征在于,包括:炉体和设在炉体内的隔热笼;设在隔热笼内的上加热器和下加热器;设在上加热器和下加热器之间的用于盛放多晶硅料的石英坩埚;同轴地设在石英坩埚下面的石墨底板及竖直地设在石墨底板四边上面的石墨侧板,所述的石英坩埚埋于石墨侧板之间;同轴地设在所述的石墨底板下面用于定向导热的定向凝固块;水平地设在定向凝固块四周的热场板,其一端与隔热笼內臂相接,其另一端的下表面搭接在定向凝固块的上表面;设在石墨侧板与石墨底板之间的第一隔热层及设在热场板上表面的第二隔热层;设在石墨底板和定向凝固块之间的保温层。
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