[实用新型]一种有利于提高光通量的网状图形衬底有效

专利信息
申请号: 201420427604.X 申请日: 2014-07-31
公开(公告)号: CN204029842U 公开(公告)日: 2014-12-17
发明(设计)人: 傅华;翁启伟;吴思;王怀兵 申请(专利权)人: 苏州新纳晶光电有限公司
主分类号: H01L33/22 分类号: H01L33/22
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 陆明耀;陈忠辉
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种有利于提高光通量的网状图形衬底,包括衬底本体,所述衬底本体的表面呈粗糙面,所述粗糙面为衬底本体底部向上突出形成有若干凸起,所述凸起横截面呈网状,所述网状由相邻的凸起单元连接而成,所述凸起单元的横截面呈三角形,所述凸起单元的相邻凸起边截面呈三角形,所述凸起单元的端部向衬底本体的底部凹陷形成凹槽。本实用新型的优点是:具有脊形结构的凸起,与GaN六方晶体结构对称性一致,有利于GaN外延层合并,发生位错转向。各脊边交界处设置凹陷图形,既有效解决了平台问题,又形成了相似等边三角形,克服了GaN外延生长时产生死角问题,发光效率提高。
搜索关键词: 一种 有利于 提高 光通量 网状 图形 衬底
【主权项】:
一种有利于提高光通量的网状图形衬底,其特征在于:包括衬底本体,所述衬底本体的表面呈粗糙面,所述粗糙面为衬底本体底部向上突出形成有若干凸起,所述凸起横截面呈网状,所述网状由相邻的凸起单元连接而成,所述凸起单元的横截面呈三角形,所述凸起单元的相邻凸起边截面呈三角形,所述凸起单元的端部向衬底本体的底部凹陷形成凹槽。
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