[实用新型]一种有利于提高光通量的网状图形衬底有效
| 申请号: | 201420427604.X | 申请日: | 2014-07-31 |
| 公开(公告)号: | CN204029842U | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
| 发明(设计)人: | 傅华;翁启伟;吴思;王怀兵 | 申请(专利权)人: | 苏州新纳晶光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种有利于提高光通量的网状图形衬底,包括衬底本体,所述衬底本体的表面呈粗糙面,所述粗糙面为衬底本体底部向上突出形成有若干凸起,所述凸起横截面呈网状,所述网状由相邻的凸起单元连接而成,所述凸起单元的横截面呈三角形,所述凸起单元的相邻凸起边截面呈三角形,所述凸起单元的端部向衬底本体的底部凹陷形成凹槽。本实用新型的优点是:具有脊形结构的凸起,与GaN六方晶体结构对称性一致,有利于GaN外延层合并,发生位错转向。各脊边交界处设置凹陷图形,既有效解决了平台问题,又形成了相似等边三角形,克服了GaN外延生长时产生死角问题,发光效率提高。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 有利于 提高 光通量 网状 图形 衬底 | ||
【主权项】:
一种有利于提高光通量的网状图形衬底,其特征在于:包括衬底本体,所述衬底本体的表面呈粗糙面,所述粗糙面为衬底本体底部向上突出形成有若干凸起,所述凸起横截面呈网状,所述网状由相邻的凸起单元连接而成,所述凸起单元的横截面呈三角形,所述凸起单元的相邻凸起边截面呈三角形,所述凸起单元的端部向衬底本体的底部凹陷形成凹槽。
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