[实用新型]芯片自动检测装载系统有效
申请号: | 201420416156.3 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN204011373U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 舒远;李玉廷;王光能;闫静;米野;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族电机科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及自动化设备技术领域,提供一种芯片自动检测装载系统,包括机架、进料盘、第一出料盘、第二出料盘、传送装置、图像识别装置、用于对放置位置NG的待检测芯片进行角度调整的旋转装置、用于待检测芯片进行检测的检测电路板、第一移动装置以及第二移动装置,第一移动装置用于将芯片在料盘盒、传送装置、旋转装置以及第一出料盘或第二出料盘之间移动,第二移动装置用于将芯片在传送装置与检测电路板之间移动,芯片自动检测装载系统还包括工控机,用于控制以上各装置之间协调运行。本实用新型中,利用上述系统可以对芯片性能进行自动检测,安全、准确、可靠,并减少传统方式下对人力和时间的需求,大大提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 芯片 自动检测 装载 系统 | ||
【主权项】:
一种芯片自动检测装载系统,其特征在于:包括机架、设于所述机架上用于放置待检测芯片的进料盘、用于放置性能OK芯片的第一出料盘、用于放置性能NG芯片的第二出料盘、传送装置、设于所述传送装置上方用于对由传送装置输送的待检测芯片放置位置进行识别的图像识别装置、用于对放置位置NG的待检测芯片进行角度调整的旋转装置、用于对放置位置OK的待检测芯片进行检测的检测电路板、第一移动装置以及第二移动装置,所述第一移动装置用于将所述芯片在所述料盘盒、所述传送装置、旋转装置以及第一出料盘或第二出料盘之间移动,所述第二移动装置用于将所述芯片在所述传送装置与所述检测电路板之间移动,所述芯片自动检测装载系统还包括工控机,用于控制以上各装置之间协调运行。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造