[实用新型]一种掩模板有效
| 申请号： | 201420376204.0 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN203960317U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 孙田雨;叶添昇;毕德锋 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种掩模板，包含：第一子掩模板；第二子掩模板，与所述第一子掩模板交叉；所述第一子掩模板在与所述第二子掩模板交叉区域，设置有第一凹槽，所述第一凹槽能够收纳第二子掩模板。本实用新型通过在交叉处设置凹槽，使得交叉处的总高度降低，与非交叉处的高度保持平齐，这样能够提高掩模板铺设的平坦度，提高张网精度，提高蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 | ||
【主权项】：
一种掩模板，其特征在于，包含： 第一子掩模板； 第二子掩模板，与所述第一子掩模板交叉设置； 所述第一子掩模板在与所述第二子掩模板交叉区域，设置有第一凹槽，所述第一凹槽能收纳第二子掩模板。
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