[实用新型]一种掩模板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种掩模板，尤其涉及一种用于有机发光器件蒸镀的金属掩模板。

背景技术

有机发光二极管(OLED)显示装置的特性是自发光，不像液晶显示器(LCD)需要背光，因此可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上反应快、重量轻、高度薄，构造简单，成本低等，被视为21世纪最具前途的产品之一。

OLED利用电激发的有机荧光化合物发光，其具有阴极和阳极，二者中间有由有机化合物组成的有机膜。当向阴极、阳极上施加电压时，施加正电压的电极中，空穴通过空穴传输层(HTL)迁移到有机发光区，施加负电压的电极中，电子通过电子传输层(ETL)迁移到有机发光区，空穴和电子在有机发光区中发生复合产生激子，激子被激发后发出光，为OLED显示提供光源。

一般而言，OLED器件中的有机材料通常采用蒸镀工艺实现，随着OLED手机屏幕尺寸的增大，为提高生产效率，蒸镀用金属掩模板的尺寸也不断增大，如何提高蒸镀精度是工艺上面临的一个重要问题。

发明内容

本实用新型为了解决上述现有技术存在的问题，提供了一种掩模板，包含：第一子掩模板；第二子掩模板，与所述第一子掩模板交叉；所述第一子掩模板在与所述第二子掩模板交叉区域，设置有第一凹槽，所述第一凹槽能收纳第二子掩模板。

可选地，第二子掩模板在与所述第一子掩模板交叉处，设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述第一凹槽配合，收纳所述第一子掩模板。

可选地，第一凹槽和所述第二凹槽高度之和等于所述第一子掩模板和所述第二子掩模板高度之和的二分之一。

可选地，第一凹槽和所述第二凹槽中的的至少一个平面是不平整表面。

可选地，第一凹槽或所述第二凹槽的截面，至少有一条边为斜线或台阶状或曲线。

可选地，第一凹槽或所述第二凹槽的截面形状为楔形。

可选地，楔形的斜边与水平边的夹角为45°-70°。

可选地，还包含框架，第一子掩模板和第二子掩模板的两端固定在所述框架上。

可选地，第一凹槽或/和所述第二凹槽的高度范围为10-60μm。

可选地，第一凹槽的宽度范围为2-20mm或/和所述第二凹槽的宽度范围为10-30mm。

可选地，第一凹槽或所述第二凹槽采用半刻蚀的方法制成。

可选地，掩模板还包含第三子掩模板，所述第三子掩模板覆盖于第一子掩模板和所述第二子掩模板上方。

可选地，有机层采用上述的掩模板蒸镀制成。

本实用新型还包括一种有机发光显示面板，包含有机层，其特征在于，所述有机层是采用上述掩模板制成的。

本实用新型具有如下一种或多种的技术效果：

1、通过在交叉处设置凹槽，使得交叉处的总高度降低，与非交叉处的高度保持平齐，这样能够提高掩模板铺设的平坦度，提高张网精度，提高蒸镀良率。

2、通过楔形设计，提高遮蔽掩模板和支撑掩模板的组装精度，减少框架机械加工精度低的风险。

3、通过凹槽的不平整表面设计，确保遮蔽掩模板和支撑掩模板不发生移位，保证组装稳定性。

附图说明

图1为现有技术的掩模板结构俯视图示意图；

图2a为图1中A-A’的剖视图；

图2b为图1中B-B’的剖视图；

图2c为图1中C-C’的剖视图；

图3为本实用新型一实施例提供的掩模板结构俯视图示意图；

图4为本实用新型一实施例提供的掩模板结构俯视图示意图；

图5a为本实用新型图3中D-D’的剖视图；

图5b为本实用新型一实施例提供的掩模板结构剖视图；

图5c为本实用新型图3中E-E’的剖视图；

图5d为本实用新型一实施例提供的掩模板结构剖视图；

图6a为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图6b为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图7a为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图7b为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图8a为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图8b为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图9a为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图；

图9b为本实用新型一实施例提供的掩模板结构的剖视图。