[实用新型]可调控边缘温场的衬底有效
| 申请号： | 201420374204.7 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN203938751U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 郑锦坚;伍明跃;周启伦;寻飞林;李水清 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B25/16 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 361009 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型旨在提供一种可调控边缘温场的衬底，包括衬底本体，其特征在于：所述衬底的外边缘具有若干个凸起或/和凹陷，不仅可减少沉积过程中衬底与承载盘的接触面积，减少因接触位置温度高导致的波长偏短问题，从而改善边缘温场，提升外延片的光电性能和良品率等；还可以减少平边的空隙位置，使翘曲的衬底始终保持与石墨盘间存在合理的间隙，保证平边温度与气流稳定，有效解决平边温度低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 调控 边缘 衬底 | ||
【主权项】：
可调控边缘温场的衬底，包括衬底本体，其特征在于：所述衬底的外边缘具有若干个凸起或/和凹陷。
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