[实用新型]一种全自动硅片插片机的硅片输出装置有效
申请号: | 201420328052.7 | 申请日: | 2014-06-19 |
公开(公告)号: | CN203932031U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 陈德榜 | 申请(专利权)人: | 温州海旭科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 温州瓯越专利代理有限公司 33211 | 代理人: | 李友福 |
地址: | 325000 浙江省温州市经*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种全自动硅片插片机的硅片输出装置,包括硅片输出架、硅片输出气缸,所述的硅片输出架包括有一方形底板和一用于放置硅片的方形托盘,所述方形底板的四条棱边中每条棱边上均设有至少一块呈竖直放置的竖直板,每块竖直板的竖直向两端均各装有至少一个滑轮,竖直板竖直向两端的滑轮之间通过一滑轮传送带连接,所述的方形托盘位于方形底板正上方,并固定于所述滑轮传送带上,所述硅片输出气缸的输出轴穿过方形底板与所述方形托盘的下端面抵接。采用上述结构,工作时,将成堆的硅片置于方形托盘上,然后所述方形托盘在硅片输出气缸的作用下随滑轮传送带上下升降,从而实现将硅片逐片输出的操作,整体结构简单、输送稳定可靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 硅片 插片机 输出 装置 | ||
【主权项】:
一种全自动硅片插片机的硅片输出装置,其特征在于:包括硅片输出架、硅片输出气缸,所述的硅片输出架包括有一方形底板和一用于放置硅片的方形托盘,所述方形底板的四条棱边中每条棱边上均设有至少一块呈竖直放置的竖直板,每块竖直板的竖直向两端均各装有至少一个滑轮,竖直板竖直向两端的滑轮之间通过一滑轮传送带连接,所述的方形托盘位于方形底板正上方,并固定于所述滑轮传送带上,所述硅片输出气缸的输出轴穿过方形底板与所述方形托盘的下端面抵接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造