[实用新型]一种多晶硅棒生长直径的测量装置

摘要

本实用新型提供一种多晶硅棒生长直径的测量装置，包括：测微尺，其水平地固定在还原炉的视窗外；光学镜片单元，能够沿测微尺水平移动，用于将其视野拉近以放大或者推远以缩小通过其观察到的多晶硅棒，并能得出缩放倍数，且光学镜片单元的背离视窗一侧的镜片上设置有标记，以标定其视野内的多晶硅棒的左、右边缘的位置；计算单元，与显示单元相连，用于根据标记分别对准多晶硅棒的左边缘位置处和右边缘位置处时，光学镜片单元沿测微尺水平移动的距离和光学镜片单元的缩放倍数计算出多晶硅棒的生长直径，并输出至显示单元；显示单元，用于显示多晶硅棒的生长直径。本实用新型所述装置能够在多晶硅的生产过程中准确测量多晶硅棒的生长直径。

主权项

一种多晶硅棒生长直径的测量装置，其特征在于，包括：测微尺、光学镜片单元、计算单元和显示单元，所述测微尺水平地固定在还原炉的视窗外；所述光学镜片单元能够沿测微尺水平移动，用于将其视野拉近以放大通过其观察到的多晶硅棒，或者推远以缩小通过其观察到的多晶硅棒，并能得出缩放倍数，且光学镜片单元的背离所述视窗一侧的镜片上设置有标记，以标定其视野内的多晶硅棒的左、右边缘的位置；所述计算单元与显示单元相连，用于根据所述标记分别对准光学镜片单元视野内的多晶硅棒的左边缘位置处和右边缘位置处时，光学镜片单元沿测微尺水平移动的距离和光学镜片单元的缩放倍数计算出多晶硅棒的生长直径，并输出至显示单元；所述显示单元用于显示多晶硅棒的生长直径。