[实用新型]一种化学供应系统有效
| 申请号： | 201420238027.X | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203823447U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 张文武;王强;刁春华;周鹏;杨洪;廖伟杰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01;H04L29/08;H04L12/46 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种化学供应系统，包括：输入输出盘、数据采集盘，化学供应机台、设备机台及阀箱；其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。本实用新型在网络线、数据采集盘有问题以及网络堵塞而断信的情况下，能够保证化学供应机台也正常提供化学品，保证供应零中断，并为系统的维护、整改、测试等操作提供有力的保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种化学供应系统，其特征在于，包括：输入输出盘；数据采集盘，通过网络与所述输入输出盘连接；化学供应机台，通过网络与所述数据集中盘连接；设备机台，通过化学输送管道与所述化学供应机台连接；阀箱，连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连；其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。
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