[实用新型]一种化学供应系统

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，特别是涉及一种化学供应系统。

背景技术

鉴于半导体行业的特殊性，即需要使用大量的具有巨毒和高腐蚀性的化学品来满足生产制成的需要，针对这些巨毒化学品的供应，半导体业界通常都是采用信号接受和发送的方式来实现相互的通讯，它们之间最终会通过Ethernet网络来实现信号的通讯，但是如果网络任何一处出现问题将会直接导致全厂化学品供应系统的中断。

现有的一种化学供应系统如图1所示，其包括：输入输出盘、数据采集盘、化学供应机台、设备机台及阀箱；所述输入输出盘及数据采集盘之间通过网络(Ethernet网络)连接，所述数据采集盘及化学供应机之间也通过网络连接，所述设备机台通过化学输送管道与所述化学供应机台连接，所述阀箱连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连。

上述化学供应系统的工作的过程为：当设备机台需要化学品时，会向所述输入输出盘提供一个请求信号Request，此时，所述输入输出盘会向阀箱发送信号使其打开，然后所述请求信号Request通过输入输出盘用网络传输到数据采集盘,再由数据采集盘通过网络传输到化学供应机台，此时化学供应机台的可编程逻辑控制器(PLC)会控制供应驱动泵作动和对应的路径中的所有气动阀打开，然后通过化学品输送管路供应给设备机台。

以上的化学供应系统目前遇到的问题有：

1)当Ethernet网络线有问题的时候，所述化学供应机台无法收到设备机台所发出的请求信号Request；

2)当数据采集盘有问题的时候，所述化学供应机台无法收到设备机台所发出的请求信号Request；

3)当整个网络出现网络堵塞或者网络断信的时候，所述化学供应机台无法收到设备机台发出的请求信号Request；

当出现以上情况时，化学供应机台无法接收到所述设备机台所发送的请求信号Request，所述化学供应机台没有收到请求信号Request时，是不会启动供应驱动泵和气动阀的，这样就会导致设备机台所需的化学品供应中断，导致设备机台无法正常工作，会严重影响生产的连续性和产品的良率。

鉴于以上缺陷，提供一种在请求信号中断时，能继续保证化学供应机台正常提供化学品的化学供应系统实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种化学供应系统，用于解决现有技术中由于设备故障、网络通讯失败、以及网络拥堵等种种异常情况而导致化学机台无法正常供应化学品的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种化学供应系统，包括：

输入输出盘；

数据采集盘，通过网络与所述输入输出盘连接；

化学供应机台，通过网络与所述数据集中盘连接；

设备机台，通过化学输送管道与所述化学供应机台连接；

阀箱，连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连；

其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。

作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述化学供应系统还包括报警装置，所述报警装置在所述化学供应机台无法接受到所述设备机台的请求信号时发出警报。

作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述化学供应机台设置有可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器在接收到所述强制请求信号时控制化学供应机台中的驱动泵以及设备机台中的气动阀的开启。

进一步地，所述开关单元为手动开关、或由所述可编程逻辑控制器控制的自动开关。

作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述继电器为电磁式继电器。

作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述继电器为常开式继电器。

作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述开关单元为硬线开关。