[实用新型]一种化学供应系统有效

专利信息
申请号: 201420238027.X 申请日: 2014-05-09
公开(公告)号: CN203823447U 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 张文武;王强;刁春华;周鹏;杨洪;廖伟杰 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: F17D3/01 分类号: F17D3/01;H04L29/08;H04L12/46
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 李仪萍
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 化学 供应 系统
【权利要求书】:

1.一种化学供应系统,其特征在于,包括:

输入输出盘;

数据采集盘,通过网络与所述输入输出盘连接;

化学供应机台,通过网络与所述数据集中盘连接;

设备机台,通过化学输送管道与所述化学供应机台连接;

阀箱,连接于所述化学工艺机台及设备机台之间,并与所述输入输出盘相连;

其中,所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路,所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器;所述开关单元一端接电源负极,另一端接继电器的第一控制端;所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关,第二控制端接电源正极,第一被控制端接电源负极,第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。

2.根据权利要求1所述的化学供应系统,其特征在于:所述化学供应系统还包括报警装置,所述报警装置在所述化学供应机台无法接受到所述设备机台的请求信号时发出警报。

3.根据权利要求1所述的化学供应系统,其特征在于:所述化学供应机台设置有可编程逻辑控制器,所述可编程逻辑控制器在接收到所述强制请求信号时控制化学供应机台中的驱动泵以及设备机台中的气动阀的开启。

4.根据权利要求3所述的化学供应系统,其特征在于:所述开关单元为手动开关、或由所述可编程逻辑控制器控制的自动开关。

5.根据权利要求1所述的化学供应系统,其特征在于:所述开关单元为硬线开关。

6.根据权利要求1所述的化学供应系统,其特征在于:所述继电器为电磁式继电器。

7.根据权利要求1所述的化学供应系统,其特征在于:所述继电器为常开式继电器。

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