[实用新型]硅片清洗用移动装置有效
| 申请号： | 201420194354.X | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN203875062U | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 周建荣 | 申请（专利权）人： | 苏州金牛精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片清洗用移动装置，包括机架、安装在所述机架上且相对水平设置的导向板，所述导向板沿长度方向设有导向槽，所述导向板的下端沿长度方向固定有齿条，所述导向板上设有承载机构，所述承载机构包括基板、安装在所述基板上的支轴以及位于所述支轴两端的滚轮，所述基板上固定有气缸，所述气缸的气缸臂固定有承载板，所述承载板的四周固定有挂钩，所述滚轮位于所述导向槽内，所述基板的下端固定有电机，所述电机的输出轴固定有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。本实用新型结构简单，使用方便，运行平稳，避免硅片在移动过程中的晃动，确保了硅片的质量，减少资源损耗，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 移动 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗用移动装置，其特征在于：包括机架、安装在所述机架上且相对水平设置的导向板，所述导向板沿长度方向设有导向槽，所述导向板的侧端沿长度方向固定有齿条，所述导向板上设有承载机构，所述承载机构包括基板、安装在所述基板上的支轴以及位于所述支轴两端的滚轮，所述基板上固定有气缸，所述气缸的气缸臂固定有承载板，所述承载板的四周固定有挂钩，所述滚轮位于所述导向槽内，所述基板的下端固定有电机，所述电机的输出轴固定有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。
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