[实用新型]MEMS谐振器有效
| 申请号： | 201420148846.5 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN204216861U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 何昭文 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，所述质量块中开设有多个孔径；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述MEMS谐振器的频率可由质量块中开设的多个孔径予以改变。由此当需要不同频率的MEMS谐振器时，只需选取不同数量/大小的孔径即可，即通过改变MEMS谐振器的设计结构即可实现。相对于现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变而言，通过本实用新型的MEMS谐振器更加易于得到不同的频率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，在所述质量块中与所述锚部连接的位置处开设有多个孔径，所述锚部、所述质量块以及所述孔径均为轴对称结构；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。
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