[实用新型]MEMS谐振器

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，特别涉及一种MEMS谐振器。

背景技术

MEMS振荡器有望取代高精度振荡器中庞大并且昂贵的石英晶体。所述MEMS振荡器广泛地用于计时和频率基准应用，诸如实时时钟、手机中的RF模块、包含蓝牙模块的设备、USB模块以及其他数字和电信设备。MEMS振荡器提供小尺寸、低成本和潜在的高集成水平。一些最初的MEMS振荡器产品最近已经商业化。

MEMS振荡器基本上包括MEMS谐振器和外部放大器电路。这两个部分可以存在于相同封装中的两个独立管芯中，或者可以集成到相同的管芯中。所述MEMS谐振器由半导体质量弹簧系统组成，可以激励所述半导体质量弹簧系统进入机械谐振振动，并且能够感测这个机械谐振振动及将它转换成电信号，将所述电信号馈送至外部放大器电路。这个外部放大器电路基本上由增益放大器和移相器组成。将所述外部放大器电路的输出反馈到所述MEMS谐振器的激励一侧，如果所述MEMS振荡器回路的增益大于1并且所述回路相移为0，那么可以在所述回路内维持所述振荡。所述MEMS振荡器的输出频率由所述MEMS谐振器频率保持稳定。

因此，所述MEMS谐振器的频率是一个非常重要的参数。现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变，此种处理方式比较复杂。在不用的应用下，经常会用到不同频率的MEMS谐振器。因此，如何快速的设计出不同频率的MEMS谐振器，特别的，MEMS谐振器的 改变仅通过设计结构的改变即可实现，成了本领域技术人员要解决的一个技术难题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种MEMS谐振器，以解决现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变，此种处理方式比较复杂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，在所述质量块中与所述锚部连接的位置处开设有多个孔径，所述锚部、所述质量块以及所述孔径均为轴对称结构；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述锚部为轴对称结构。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述锚部的形状为圆形、正方形、长方形或者菱形。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述质量块为轴对称结构。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述质量块的形状为圆形、正方形、长方形或者菱形。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，多个孔径的形状和大小均相同。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，每个孔径均为轴对称结构。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，每个孔径的形状为扇形或者梯形。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述孔径的数量为偶数个。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述孔径的数量为4个、6个、8个、10个、12个、14个、16个、18个或者20个。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述间隙的距离为100nm～1.2μm。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述锚部、质量块及电极均为锗材料 结构。

可选的，在所述的MEMS谐振器中，所述电极的数量为四根，分别组成一对驱动电极及一对感测电极。

在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述MEMS谐振器的频率可由质量块中开设的多个孔径予以改变。由此当需要不同频率的MEMS谐振器时，只需选取不同数量/大小的孔径即可，即通过改变MEMS谐振器的设计结构即可实现。相对于现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变而言，通过本实用新型的MEMS谐振器更加易于得到不同的频率。

进一步的，在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述锚部、质量块及孔径均为轴对称结构，由此所述MEMS谐振器将具备高频稳定性、高Q值以及低相位噪声等特性。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的MEMS谐振器的结构示意图；

图2是本实用新型实施例二的MEMS谐振器的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的MEMS谐振器作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。