[实用新型]一种利用多普勒测振原理测量表面形貌的装置有效

专利信息
申请号: 201420119775.6 申请日: 2014-03-18
公开(公告)号: CN203811148U 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 刘志强;宋庆和;李迅鹏;曾春华;楼宇丽;桂进斌 申请(专利权)人: 昆明理工大学
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 650093 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型涉及一种利用多普勒测振原理测量表面形貌的装置,属于测量技术领域。本实用新型包括激光多普勒测振仪、数据传输线、数据采集器、电动载物台控制器、固有针尖的微悬臂、微悬臂固定杆、电动载物台、电动载物台固定座、工业控制计算机、激光多普勒测振仪固定架、底座。本实用新型既可以进行较大位移的运动,实现较大表面尺寸的检测,又可以进行微小位移的运动,实现小表面尺寸的检测,能满足不同精度测量的要求,达到了精度提高、操作简单与价格合理的应用要求。
搜索关键词: 一种 利用 多普勒 原理 测量 表面 形貌 装置
【主权项】:
一种利用多普勒测振原理测量表面形貌的装置,其特征在于:包括激光多普勒测振仪(1)、数据传输线(2)、数据采集器(3)、电动载物台控制器(4)、固有针尖的微悬臂(5)、微悬臂固定杆(6)、电动载物台(7)、电动载物台固定座(8)、工业控制计算机(9)、激光多普勒测振仪固定架(10)、底座(11);所述激光多普勒测振仪固定架(10)和微悬臂固定杆(6)均固定在底座(11)上,电动载物台(7)固定在电动载物台固定座(8)上可整体移动,固有针尖的微悬臂(5)固定在微悬臂固定杆(6)上,激光多普勒测振仪(1)安装在激光多普勒测振仪固定架(10)上,激光多普勒测振仪(1)可以拆卸,激光多普勒测振仪(1)通过数据传输线(2)与数据采集器(3)相连接,数据采集器(3)通过数据传输线(2)连接到工业控制计算机(9)用于将测得的数据传输给工业控制计算机(9),电动载物台(7)通过数据传输线(2)与电动载物台控制器(4)相连接,电动载物台控制器(4)通过数据传输线(2)连接到工业控制计算机(9)用于驱动电动载物台(7)接近固有针尖的微悬臂(5)。
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