[实用新型]蓝宝石晶体热交换法生长炉氦气冷却系统有效
| 申请号： | 201420106688.7 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN203754854U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 陈勇 | 申请（专利权）人： | 陈勇 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘渝 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石晶体热交换法生长炉氦气冷却系统，主要晶体生长炉组成，其特征在于：在所述晶体生长炉上还连接有氦气冷却循环系统，所述氦气冷却循环系统包括通过出气管连接在晶体生长炉上的冷却器、以及通过进气管连接在晶体生长炉上的氦气压缩净化机组，所述冷却器与氦气压缩净化机组通过管道连接，在所述冷却器与氦气压缩净化机组之间的管道上还设有过滤器。本实用新型不仅结构简单，而且成本低廉，通过氦气冷却循环系统可将晶体生长炉中输出的高温低压氦气转化为低温高压氦气，并提供给晶体生长炉生产蓝宝石使用，从而形成氦气的循环使用回路；同时，还可提高氦气的纯度，保证了蓝宝石的质量，因此适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 晶体 热交换 生长 氦气 冷却系统 | ||
【主权项】：
蓝宝石晶体热交换法生长炉氦气冷却系统，主要晶体生长炉组成，其特征在于：在所述晶体生长炉上还连接有氦气冷却循环系统，所述氦气冷却循环系统包括通过出气管连接在晶体生长炉上的冷却器、以及通过进气管连接在晶体生长炉上的氦气压缩净化机组，所述冷却器与氦气压缩净化机组通过管道连接，在所述冷却器与氦气压缩净化机组之间的管道上还设有过滤器。
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