[实用新型]脉冲磁场电弧蒸发源

摘要

本实用新型涉及真空多弧离子镀膜机，具体是一种真空多弧离子镀膜机的脉冲磁场电弧蒸发源。包括引弧机构、靶块、水冷靶座、磁性元件，所述磁性元件包括电磁线圈和磁轭，电磁线圈由脉冲电源供电，产生脉冲磁场，磁性元件设置有电磁屏蔽套，磁性元件与水冷靶座之间设置有冷却水套。本实用新型利用脉冲电源供电，电磁线圈和磁轭产生电磁场，其电磁场可通过自动控制电流实现定量调节，所有蒸发源的磁场很容易达到一致；电磁屏蔽防止电磁辐射对外围电器和传感元件的干扰；电磁线圈采用间接水冷防止过热损坏，保证磁性元件正常工作。本实用新型靶块弧斑的运动轨迹更合理，靶块刻蚀更均匀，不易产生大颗粒离子的发射，可得到高质量的膜层。

主权项

一种脉冲磁场电弧蒸发源，包括引弧机构、靶块、水冷靶座、磁性元件，其特征在于，所述磁性元件包括电磁线圈和磁轭，电磁线圈由脉冲电源供电，产生脉冲磁场，磁性元件设置有电磁屏蔽套，磁性元件与水冷靶座之间设置有冷却水套。