[实用新型]一种基板检测修复系统

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种基板检测修复系统，用于检测和去除基板上除有效电路以外的区域残留的光刻胶，进而提高生产基板的效率。本实用新型公开的基板检测修复系统包括：控制装置，分别与控制装置信号连接的光学检测装置和光刻胶去除装置；控制装置根据光学检测装置所获取的基板上的有效电路形成前的图像，获取基板上的光刻胶残留信息，并通过控制光刻胶去除装置去除所述基板上除有效电路以外的区域所残留的光刻胶。

主权项

一种基板检测修复系统，其特征在于，包括： 控制装置，根据接收的基板上的有效电路形成前的图像获取基板上的光刻胶残留信息，并控制去除所述基板上除有效电路以外的区域残留的光刻胶； 光学检测装置，信号连接所述控制装置，以获取基板上的有效电路形成前的图像，并将所述图像反馈给所述控制装置； 光刻胶去除装置，信号连接所述控制装置，在所述控制装置的控制下去除所述残留的光刻胶。